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详细信息
| 类型： |
Talysurf CCI
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类型： |
表面粗糙度仪
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| 示值变动性： |
英国泰勒
((%))
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技术参数(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）(2) 分辨率： 0.1 A(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。 主要特点•专利的相干相关算法•0.01nm分辨率•10-20秒测量时间•RMS重复性：0.03A仪器介绍Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。分析方法1.Noncontact measurement for 3D surface profiling
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