产品特点：常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合l        双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图l        针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。l        在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察l        针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（最小０.１nm）l        软件设置恒定微力接触l        简单的2步关键操作，友好的软件操作界面应用三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。薄膜和厚膜的台阶高度测量划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量空间分析和表面纹理表征平面度和曲率测量二维薄膜应力测量微电子表面分析和MEMS表征表面质量和缺陷检测 环境要求湿度：10-80%，相对湿度，无冷凝温度：65-85华氏度（△T＜1度/小时）电源要求：90/240V，50/60 Hz