特点•大幅度提高了驱动速度(X轴：80mm/s,  Z2轴：20mm/s)，近一步降低了总测量时间。•为了在一定时段内维持仪器的直线度规格，三丰公司采用了具有极佳的耐摩擦性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。•大量的外周设备选件支持CNC模式，从而可以很容易实现CNC测量。•驱动装置(X轴)和立柱(Z2轴)中集成了高精度线性编码器(Z2轴为ABS型)，从而提高了在垂直方向持续自动测量小孔和不易定位工件的重复精度。•X轴精度：±(0.8+0.01L)µm,  Z1轴精度：±(0.8+|0.5H|/25)µm*，针对高精度工件的测量所设计。  * CV-4100S4, H4,  W4型    L为驱动长度，H为测量高度(mm)•CV-4100系列的驱动装置集成了激光全息测微计检测器，在Z轴(垂直方向)的窄／宽测量范围内，提供卓越的精度和分辨率。 自动测量功能•配备有大量支持CNC模式的外周设备选件，从而可实现自动测量功能批量校准功能•使用专用校准规，可同时进行设备的Z轴增益，对称及针尖半径的校准。三丰公司具有创新意义的高精度激光全息光栅技术，运用了衍射光干涉现象，达到了近似干涉仪级别的高精度，有效保证了全部测量范围50 mm内高达0.05µm的分辨率。 技术参数X轴 测量范围:  100mm或200mm 分辨率:  0.05µm 检测方法:  反射型线性编码器 驱动速度:  80mm/s和手动 测量速度:  0.02 - 5mm/s 移动方向: 向前／向后 直线度:  0.8µm/100mm, 2µm/200mm    *当X轴在水平方向上 指示精度: ±(1+0.01L)µm (CV-3100S4, H4, W4)        (20°C时) ±(0.8+0.01L)µm (CV-4100S4, H4, W4)    ±(1+0.02L)µm (CV-3100S8, H8, W8)    ±(0.8+0.02L)µm (CV-4100S8, H8, W8)    * L为驱动长度(mm) 倾斜范围: ±45°Z2轴(立柱) 垂直行程:  300mm或500mm 分辨率:  1µm 检测方法:   ABSOLUTE线性编码器 驱动速度:  0 - 20mm/s和手动Z1轴(检测器) 测量范围: ±25mm 分辨率:  0.2µm (CV-3100), 0.05µm (CV-4100) 检测方法: 线性编码器(CV-3100),    激光全息测微计(CV-4100) 指示精度: ±(2+I4HI/100)µm (CV-3100)  (20°C时)  ±(0.8+I2HI/100)µm (CV-4100)    *H为水平位置上的测量高度(mm) 测针上／下运作:弧形运动 测针方向: 向上／向下 测力:  30mN 跟踪角度: 向上：77°、向下：87°   (根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)测针针尖 半径: 25µm、硬质合金针尖基座尺寸(W x H):750 x 600mm或1000 x 450mm基座材料: 花岗岩重量主机:  140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)  145kg (S8), 155kg (H8), 160kg (W8)　控制装置:14kg　遥控箱:  0.9kg电源:  100–240VAC±10%, 50/60Hz能耗:  400W (仅限主机