FormtracerExtreme(超级表面粗糙度/轮廓测量装置)CS-5000CNC/CS-H5000CNC525系列—CNC形状测量仪 特点•高精度测针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状／轮廓的测量。•X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓／多工件测量的效率。•X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨率(X1轴分辨率：6.25nm,Z1轴分辨率：4nm/8nm)的轮廓／形状测量、表面粗糙度的测量和批次测量。•Z1轴检测器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。•Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。•带有a 轴的型号，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。•带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。•提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。•通过USB端口与数据处理／分析装置(选件)进行信息交换。 技术参数:X1轴测量范围:200mm分辨率:0.00625μm检测方法:激光全息光栅尺驱动速度:最大40mm/s(CNC模式)0-40mm/s(操纵杆控制模式)测量速度:0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)0.02-2mm/s(形状／轮廓)移动方向:向前／向后直线度:(0.1+0.0015L)μm、使用标准测针(0.2+0.0015L)μm、使用二倍长型测针直线度:(0.05+0.0003L)μm、使用标准测针(0.2+0.0015L)μm、使用二倍长型测针指示精度(20°C):±(0.3+0.002L)μm指示精度(20°C):±(0.16+0.001L)μmL为驱动长度(mm)Z1轴测量范围:12mm(标准测针)24mm(二倍长型测针)分辨率:0.001μm(标准测针)0.002μm(二倍长型测针)测针上／下运作:弧形运动检测方法:激光全息光栅尺指示精度(20°C):±(0.3+I0.02HI)μm指示精度(20°C):±(0.07+I0.02HI)μmH为测量高度(mm)测力:4mN(标准测针)0.75mN(二倍长型测针)跟踪角度:向上60°、向下60°(取决于表面粗糙度)测针针尖:半径:5μm,角度：40°、钻石(球型测针)(半径:0.25mm,蓝宝石)测针方向:向下Z2轴(立柱)测量范围:300mm(500mm：高立柱型)分辨率:0.05μm检测方法:反射型线性编码器驱动速度:最大200mm/s(CNC模式)0-50mm/s(操纵杆控制模式)基座尺寸(WxD):750x600mm基座材料:花岗岩尺寸(WxDxH):800x620x1000mm(800x620x1200mm：高立柱型)重量:240kg(250kg：高立柱型)*CS-H5000CNC  软件选件FORMTRACEPAK使用该软件可以控制马达驱动的Y轴工作台和旋转台选件，从而实现自动测量。使用该软件还可以进行轮廓评估，这项评估包括对级差，角度，深度，面积和其他基于表面粗糙度数据的特性进行分析。另外，还可以通过设置打印格式建立原始检测证书，以适应不同的需求。 测针12AAJ037:标准长度测针(针尖半径5μm)12AAD544:标准长度球型测针12AAD651:用于小孔的标准长度探针12AAJ039:二倍长型测针(针尖半径5μm)12AAD652:用于极小孔的标准长度测针12AAG155:二倍长型测针(针尖半径2μm)12AAD653:标准长度离心测针12AAD546:二倍长球型测针 订货信息型号CS-5000CNCCS-5000CNCCS-5000CNCCS-5000CNC货号*(100V-120V)525-721-1525-722-1525-723-1525-724-1货号*(200V-240V)525-721-2525-722-2525-723-2525-724-2X1轴测量范围200mm200mm200mm200mmZ2轴垂直行程300mm300mm300mm300mmY轴工作台装置——已安装已安装a轴装置—已安装—已安装型号CS-5000CNCCS-5000CNCCS-5000CNCCS-5000CNC货号*(100V-120V)525-741-1525-742-1525-743-1525-744-1货号*(200V-240V)525-741-2525-742-2525-743-2525-744-2X1轴测量范围200mm200mm200mm200mmZ2轴垂直行程500mm500mm500mm500mmY轴工作台装置——已安装已安装a轴装置—已安装—已安装*根据不同的交流电源电压及测量装置，可选不同的选件套装：12AAH837(公制型、UL/CSA),12AAH838(公制型、欧盟),12AAH839(公制型、BS),12AAH843(公制型、中国),12AAH844(公制型、EK),12AAH840(英制型、UL/CSA),12AAH841(英制型、欧盟),12AAH842(英制型、BS),12AAH845(英制型、中国) 型号CS-H5000CNCCS-H5000CNC货号*(100V-120V)525-761-1525-763-1货号*(200V-240V)525-761-2525-763-2X1轴测量范围200mm200mmZ2轴垂直行程300mm300mmY轴工作台装置—已安装a轴装置——*根据不同的交流电源电压及测量装置，可选不同的选件套装：12AAH847(公制型、UL/CSA),12AAH848(公制型、欧盟),12AAH849(公制型、BS),12AAH853(公制型、中国),12AAH854(公制型、EK),12AAH850(英制型、UL/CSA),12AAH851(英制型、欧盟),12AAH852(英制型、BS),12AAH855(英制型、中国)