系统的核心, Trimos DHM® (数字全息显微镜), 源于在生物医学领域采用的技术，系统本身基于表面结构的物理信息特征分析，采用这种技术用于工业领域表面检查为Trimos专有。它与其它产品相比较最大的优势在于可以测量反射非常大的表面，镜面抛光后或者很小平面。特别高的测量速度和纳米级的精密测量范围是它的突出优点。只需要几豪秒时间就可以获得一百万点的尺寸图像三维数据. 如此高的测量速度使它完全可以忽略因振动引起的测量问题。它内部的测量头可互换可以使用测头（接触测量）。多样的选择使它在多种工业领域的加工后表面结构测量都可使用如（所有经加工过的表面），应用领域如汽车和航空工业、表面涂敷、聚合涂层、在光学元件、医疗仪器、微型机电系统、半导体研发和质量控制等。特点：◆ 测量速度快◆ 对振动不敏感◆ 垂向分辨率到纳米级 ◆ 采用激光找正非常容易实现工件定位◆ 非接触测量，无损检测◆ 高技术的尖端软件配置◆ 分析表面形貌和结构◆ 预先设定测量程序◆ 二维和三维标准兼容软件（附加/选项模块）：NanoWare XT : (2D)用于二维轮廓分析的全套软件NanoWare XT : (2D)用于二维轮廓分析的全套软件NanoWare XTT : (2D and 3D)二维三维轮廓分析的先进模块软件NanoWare PRO : 二维三维轮廓分析的所有模块软件测量头：DHM S1 :用于光亮表面粗糙度测量头DHM S2 :中等范围的表面粗糙度DIA P1 :有金刚石测头的测量头标准配置如下：根据要求配置的仪器，不含测量头用户手册电脑和触摸屏TR Scan 101,无工作台，软件NanoWare LT，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头TR Scan 201,单轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头TR Scan 301,双轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头TR Scan 102,无工作台，软件NanoWare LT，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头TR Scan 202,单轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头TR Scan 302,双轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头 技术数据TRSCAN100200300X轴测量范围mm 100100Y轴测量范围mm  100Z轴位移范围mm 240 工件最大重量Kg 20 仪器重量Kg 80 随时DHM测量头DHMS1S2Z轴测量范围mm510Z轴最大分辨率nm12 0.5x0.51x1最大水平面分辨率（X,Y）um0.81.6测量距离mm6122维最大测量速度mm/s123维最大测量速度mm/s0.51Measuring head with probe (diamond stylus)DIAP1Z轴测量范围um500Z轴最大分辨率nm10金刚石测头5 μm, 90° (Standard) or 2 μm, 60° (Option)静态测力mN< 0.5 测量镜面抛光表面结构 小的磨制轴的粗糙度测量 电容器涂层表面分析 精密衬套表面粗糙度检查 硅涂层的三维结构检查 用激光来快速精确定位