德国INFICON公司 氦质谱检漏仪
UL1000氦质谱检漏仪
在检测低至 10 -12 atm cc/s 泄漏的稳定性和敏感度方面具有新的表现
Ø CAL(智能漏率计演算)确保在全部测量范围内闪电般的快速响应
Ø 可旋转显示器/控制界面和可选遥控手持控制器提高操作的灵活性
Ø 更为方便的移动式
Ø 连接口均位于一侧
Ø 可靠性更高的真空系统
Ø 通过e-mail软件升级可始终保持UL1000的最佳性能
Ø 离子源三年保修期
Ø UL1000氦质谱检漏仪的详细资料：
Ø INFICON UL1000 型氦检漏仪尤其适用于元件精确检漏的要求，灵活性测试，高灵敏度，快速于精确的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。
UL1000符合做微电子工业市场的要求。其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，还有I-CAL（智能化漏率计算系统）,无与伦比的 噪声抑制滤波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10 -11至10 -12超高灵敏漏率范围中长时间平衡的程序。
系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可转动的控制界面，装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息，这样可远距离方便地观察读值。
应用：
Ø 半导体工艺设备的维护，该设备本身带或未带有真空泵
Ø 工艺气体系统的检测与安装
Ø 元器件在组装前的漏率测试
Ø 要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合
技术参数
最小可检漏率（按AVS2.1和EN1518标准） | ＜5×10 -12mbar.l/s |
最小可检漏率（吸入器模式） | ＜3×10 -8mbar.l/s |
入口压强 粗检模式 精检模式 超精检模式 | 15 mbar 2 mbar 0.4 mbar |
在抽空过程中的抽速 | 25立方米/小时 |
入口压强对氦气抽速 粗检模式 精检模式 超精检模式 | 8 升/秒 7升/秒 2.5升/秒 |
可检质量数 | 2、3、4amu, 氢， 3氦，氦 |
电源电压 | 110－120V；220－241V |
重量 | 110公斤；242磅 |
尺寸，包括手把（长×宽×高） | 1068×525×850毫米 |
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