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  ·MEMS传感器原理与结构简析


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上传时间:2010-01-10 00:23:35

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摘要:尽管常规地震检波器发展已有5O年的历史,体积变得很小,灵敏度很高,并且较好地抑制地面噪声,但MEMS加速度传感器仍然以其直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应,逐渐成为新世纪地球物理勘探技术发展中的重要角色。文章对MEMS传感器进行了概述,对其结构与工作原理进行了简要分析。
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