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  ·压力传感器的设计制造与应用


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上传时间:2012-02-15 12:23:20

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作者:孙以材等编著  页数:615  出版日期:2000  
简介:河北省教育委员会学术著作出版基金资助:本书主要介绍压阻型压力传感器的原理、弹性力学应力计算及芯片版图设计;介绍从硅片制备、半导体工艺、微机械加工到芯片封接与引线;介绍压力传感器的技术特性、选用及各种热.......
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