主要内容：摘要:尽管常规地震检波器发展已有5O年的历史，体积变得很小，灵敏度很高，并且较好地抑制地面噪声，但MEMS加速度传感器仍然以其直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应，逐渐成为新世纪地球物理勘探技术发展中的重要角色。文章对MEMS传感器进行了概述，对其结构与工作原理进行了简要分析。 上 传 者：cqzmz 下载次数：10 上传时间：2010-01-09 03:23:35
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